SCA 工业级粉末CVD
产品概况
进行硅沉积/碳包覆，可实现高沉积均匀性与高包覆完整性，具备优异的批次稳定性与重复性
技术优势
·3EM半导体级别安全管控进行流化床硅沉积/碳包覆
·可实现高沉积均与性与高包覆完整性进行流化床多孔碳物理活化
·大度提高产能有效降低生产成本优异的批次稳定性与重复性
·可实现批量化大产能均匀的造孔有效装料容积达300-1800L
·样品最大装载量：25-100KG 多孔碳（可根据需求定制）
·可通入气源：SiH4,C2H2,N2,NH3,H2O,O2等
应用领域
FAQ
SCA的温度均匀性如何？
采用多温区控制设计，可优化温度均匀性，温区控温误差小于1度。
硅碳负极生产的均匀性如何？
优化分布板设计，可有效减小气泡尺寸，增大气固反应效率，确保硅碳沉积均匀性
SCA的使用安全性如何？
设备设计基于半导体级设计标准以及防爆设计标准，设备自动化程度高，可最大限度保证设备安全运行。
