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CBATCH的控温均匀性如何?

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工艺腔采用内、外腔设计,具有出色的温控均匀性

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CBATCH的对颗粒度的控制如何?

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腔体内部采用高真空传输,极致Particle表现,实现高洁净度生产

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CBATCH的机台需要升降温吗?

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从右往左依次是预热腔、工艺内、外和冷却腔,不需要重复升降温,实现连续性生产

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CBATCH的主要有哪些领域的工艺应用?

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mini LED背光钝化、RGB红黄提亮及钝化、高功率GaN LED钝化、Vcsel钝化、Micro LED显示侧壁钝化等

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CBATCH的做出的膜层相较其他竞品有什么优势?

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1、提高器件双85良品率; 2、降低器件反向漏电; 3、超大产能有效降低COO; 4、多腔体设计可保证更高的洁净度,适合Micro LED及微显示、车载等高端产品量产等

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