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- QBT-MPV 双腔室多靶枪公转超高真空磁控溅射系统
- QBT-P L3 三腔室超高真空磁控溅射系统
- QBT-MPC 双腔室多靶枪共聚焦超高真空磁控溅射系统
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- QBT-J 四腔室双倾角超高真空镀膜系统
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- GM 研发型粉末ALD
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