FAQ
FREQUENTLY ASKED QUESTIONS
产品问答
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SCA的温度均匀性如何？
采用多温区控制设计，可优化温度均匀性，温区控温误差小于1度。
硅碳负极生产的均匀性如何？
优化分布板设计，可有效减小气泡尺寸，增大气固反应效率，确保硅碳沉积均匀性
SCA的使用安全性如何？
设备设计基于半导体级设计标准以及防爆设计标准，设备自动化程度高，可最大限度保证设备安全运行。
QBT-E的进样腔和蒸发腔的极限真空分别是多少？
Loadlock极限真空<9E-9Torr；蒸发腔:极限真空<3E-9Torr
QBT-J的进样腔，离子束刻蚀腔，蒸发腔，氧化腔的极限真空分别是多少？
分别为≤5E-9Torr，≤9E-10Torr，≤9E-10Torr，≤1*10E-9Torr，
