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QBT-A的NbN薄膜超导临界温度可以做到多少K?

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20nm NbN薄膜的Tc可以做到14K

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QBT-A做的氮化物薄膜粗糙度如何?

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均方根粗糙度Rq≤1nm

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QBT-E的氧化物薄膜厚度均匀性为多少?

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Ti/SiO2 8inch膜厚均匀性小于3%

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MINI有什么亮点和特色?

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集成化程度高,仅有烤箱大小,小巧紧凑。工艺丰富,可以制备HfO2,ZnO,Al203,TiO2等

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MINI具体可以应用于哪些领域?

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半导体领域:High-K电解质、超级电容器、二极管等;纳米催化剂领域:光催化、电化学催化;钙钛矿太阳能电池

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