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FREQUENTLY ASKED QUESTIONS
产品问答
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GM的应用领域主要有哪些
锂电领域：用于提升电池性能，改善电极材料性能；催化领域：制备高效催化剂，优化催化剂性能；金属粉末处理领域：改善粉末流动性，提高防潮 / 抗氧化性，改善烧结界面；新材料开发领域：纳米材料表面修饰，制备新型薄膜材料；制药领域：改善粉末性能，实现药剂缓释
QBT-A可以做哪些工艺？
TiN、SiN、AlN、NbN等氮化物、SiO2、Al2O3、HfO2、TiO2等氧化物、Mo、Cu
QBT-A可以做多大尺寸的wafer？
8寸及以下
QBT-A的氮化物薄膜含氧量可以做到多低？
配备分子泵，极限真空达5E-8torr以下，并配备气体纯化器，氮化物薄膜的氧量≤0.5%
QBT-A的PE-TiN常温电阻率可以做到多低？
30nm PE-TiN常温电阻率≤70μΩ-cm
