KG 工业型粉末ALD
产品概况
KG 工业型粉末ALD可定制10-500kg粉末原子层沉积包覆。
技术优势
样品最大产载量: 500kg
均匀性、批次稳定性1σ<3%
可配置3-5路前驱体源,镀膜种类多样化
多阀组设计,实现最佳前驱体输送控制,保证可重复性和易于维护
立式提料分散,配合特殊进气方案,保证粉体与前驱体充分接触,有效提高包覆均匀性
专利设计的高温真空旋转密封装置,实现粉体分散工况下的真空密封功能,确保工艺稳定性
KG 工业型粉末ALD
产品概况
KG 工业型粉末ALD可定制10-500kg粉末原子层沉积包覆。
技术优势
样品最大产载量: 500kg
均匀性、批次稳定性1σ<3%
可配置3-5路前驱体源,镀膜种类多样化
多阀组设计,实现最佳前驱体输送控制,保证可重复性和易于维护
立式提料分散,配合特殊进气方案,保证粉体与前驱体充分接触,有效提高包覆均匀性
专利设计的高温真空旋转密封装置,实现粉体分散工况下的真空密封功能,确保工艺稳定性
应用领域
FAQ
韫茂科技的粉末ALD包括哪些产品
韫茂粉末ALD设备包括工业型及科研型两大分类,KG属于工业型设备,主要用于工厂量产,系列产品为KG10、KG20、KG40、KG100
用ALD包覆与传统的溶液法等相比有什么优势
ALD 通过原子级精准控制、强界面结合、温和工艺和复杂结构适应性,解决了传统溶液法和固相法在包覆过程中的均匀性差、厚度不可控、基底损伤等核心问题
KG系列的粉末处理量最大是多少
KG10、KG20、KG40、KG100最大处理量为10kg、20kg、40kg、100kg,且以上设备均已实现批量性出货
KG的应用领域主要有哪些
锂电领域:用于提升电池性能,改善电极材料性能;催化领域:制备高效催化剂,优化催化剂性能;金属粉末处理领域:改善粉末流动性,提高防潮 / 抗氧化性,改善烧结界面;新材料开发领域:纳米材料表面修饰,制备新型薄膜材料;制药领域:改善粉末性能,实现药剂缓释