产品
韫茂——微纳加工研发首选
Thermal Batch ALD 相关产品
CBATCH 100X 批次热ALD（单腔）
CBATCH-100X 是用于4/6 inch LED 生产线的原沉积系统，该系统主要由工艺腔、运动控制系统和上下料平台组成，满足于图形化和平面蓝宝石衬底微纳器件氧化层封装镀膜的需求。其中工艺模块用于为基片进行工艺提供环境。
CBATCH 300X 批次热ALD（多腔）
CBATCH-300X是韫茂科技与国内头部三代半导体厂联合开发的多片多腔体批次式ALD，能够实现全自动、多片、多腔体、连续化生产，有效提高产品颗粒洁净度，产能，降低COO。批次热式ALD能够实现原子级别的精确控制，ALD沉积薄膜无针孔，质量高，可作为高K值介质层，金属层，封装层，电镀种子层及其他功能层应用， 广泛应用于Mini/Micro LED, 第三代半导体，以及集成电路制造等领域。
